油扩散泵属于喷射泵的一种，是用来获取高真空或超高真空的主要设备。油扩散泵的工作压强为10–4～10–6Torr（1Torr=1mmHg=133.32Pa，下同），其抽速大，抽速范围宽（每秒几升到十几万升），对各种气体无选择性，结构简单，无机械部分。它主要由泵体、冷却帽、喷嘴、蒸汽流导管和加热器等组成。扩散泵常用油是2#或3#油、274或275硅油等；此外，用汞作工作液的汞扩散泵，因汞蒸汽通过前级泵排到周围环境中对人体有毒害，故不常用。扩散泵在工作时，必须先通入适宜的冷却水，然后加热油锅；工作结束时，应先将加热器电源切断，待泵冷却至接近室温时再关闭冷却水。